icp光譜儀操作可由軟件控制；客戶設置好軟件并放樣后，軟件會自行測試，為客戶節省大量分析時間。重復性小于1.0%，長期穩定性小于1.5%，大多數元素的檢出限小于2ppb。70多種可測元素；分析速度快，一分鐘可測量5-8個元素；多元素同時分析允許客戶自由選擇元素數量和安排測量順序；檢測限低，線性動態范圍寬，高達6個數量級，高低含量可同時測量；分析成本低，氣瓶（10MPa）可使用8小時。具有全自動點火開關功能和多重保護措施，操作更簡單，更安全。
在ICP光譜分析中，icp光譜儀難免會出現各種儀器故障。故障的發生會給測試工作帶來很多不利因素。如果操作者掌握了一些簡單的儀器故障排除方法，將會給日常的測試工作帶來很大的方便。在復雜的儀表故障情況下，如果操作人員能準確、全面地描述故障現象，也將對維修人員有很大幫助，使廠家維修人員無需現場條件也能正確判斷儀表故障。有些故障可以通過電話指導來幫助操作人員排除；即使是比較復雜的問題，廠家的維修人員也能在現場做好充分的準備，使故障問題盡快得到解決。
目前，每個廠家的每個型號的icp光譜儀計算機系統都有自己的診斷程序。借助診斷程序，將正確的檢查方法提供給操作人員，方便操作人員查找儀器故障。因此，當儀器出現故障時，操作人員首先要確認儀器的計算機系統是否正常工作，并根據計算機系統的提示查找故障位置。此外，操作人員還可以通過聽、看、摸來判斷儀器故障。ICP光譜儀的故障與其操作環境、儀器性能、操作人員的專業能力和日常維護水平密切相關。其故障可分為性能故障和服務故障。性能故障是由于儀器本身的設計或安裝或某些部件不符合要求造成的；儀器使用故障時的運行環境不符合儀器要求，或操作者未按規定要求使用和維護儀器造成的。同一故障可能是性能故障，也可能是使用故障，應根據儀表故障現象一一鑒別。
